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반도체 8대공정 장치설비
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강의목차(총 5 강)
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1. 8대 공정에 대한 설비 활용 Overview 26 분
2. 공정별 장치 소개 - Photo, Etch 30 분
3. 공정별 장치 소개 - Diffusion, Ion Implantation 26 분
4. 공정별 장치 소개 - Thin Film 29 분
5. 공정별 장치 소개 - Cleaning, CMP 32 분