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반도체 플라즈마 장치기술
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강의목차(총 5 강)
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1. 플라즈마 기초 I 26 분
2. 플라즈마 기초 II 29 분
3. 진공 및 DC 플라즈마 25 분
4. RF 기초 29 분
5. 설비/장치 SW 기술 - RF 플라즈마 소스 25 분